气相沉积技术的发展和应用

气相沉积技术的发展和应用气相沉积技术（Chemical Vapor Deposition，CVD）是一种通过在气相中将化学物质沉积到固体表面来制备薄膜、涂层和纳米结构的方法。自20世纪50年代以来，随