表面纳米结构的物理沉积和离子溅射制备及调控

表面纳米结构的物理沉积和离子溅射制备及调控表面纳米结构的物理沉积和离子溅射制备及调控摘要表面纳米结构的制备和调控在纳米材料的研究和应用中具有重要意义。本文主要介绍了两种常用的制备方法：物理沉积和离子溅