带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究

带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究摘要：本文研究了带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及其在制备类金刚石膜方面的应用。通过