PECVD氮化硅在半导体器件钝化工艺中的应用

PECVD氮化硅在半导体器件钝化工艺中的应用随着半导体技术的不断发展，致密氮化硅 (SiNx) 已成为一种重要的材料，随处可见，从金属氧化物半导体场效应晶体管 (MOSFET) 到光子学器件。 在此过