薄膜物理-CH7薄膜的形成

- 薄膜的形成 - 不同制备方法,其薄膜的形成机制不同,但存在共性问题。本章以真空蒸发制备薄膜为例,讨论薄膜形成问题。 ★ 凝结过程 ★ 核形成与生长 ★ 薄膜形成过程与

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