磁控溅射法制备氧化锌铝薄膜及其性能研究

磁控溅射法制备氧化锌铝薄膜及其性能研究摘要本文采用磁控溅射法制备氧化锌铝薄膜，通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEM）和光学显微镜（OM）等手段对其微观结构和光学性