SiGe纳米晶镶嵌SiO2薄膜的生长及光学特性研究的开题报告

SiGe纳米晶镶嵌SiO2薄膜的生长及光学特性研究的开题报告一、研究背景及意义随着纳米技术的不断发展和应用，SiGe纳米晶镶嵌SiO2薄膜因其在微电子、光学器件、热电转换器、生物传感器、太阳电池等领域