28 nm技术节点微小多晶硅桥连缺陷检测与改进方法的研究

28 nm技术节点微小多晶硅桥连缺陷检测与改进方法的研究28 nm技术节点微小多晶硅桥连缺陷检测与改进方法的研究摘要：随着集成电路技术的不断发展，微小多晶硅桥连应用开始在28 nm技术节点中得到广泛应