研磨良率改善方案报告

研磨良率改善方案报告一•现阶段研磨良率有所下降，研磨不良多数为划痕。良率百分比为82%-85%之间。对此进行以下方案改善: 1 •第一种方案：对研磨工段lu和抛光之间的转换处清洁改为用1： 80的酒精