基于稳定固溶体团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-M三元薄膜的任务书

基于稳定固溶体团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-M三元薄膜的任务书一、课题背景随着微电子技术的不断发展，薄膜材料已经成为了微电子技术中不可或缺的组成部分。而随着微电子技术的向着集成化、高性能、高可靠方