钛扩散近化学计量比铌酸锂光波导的制作和光学表征的综述报告

钛扩散近化学计量比铌酸锂光波导的制作和光学表征的综述报告钛扩散是一种常用于制作光波导的技术，在钛扩散技术中，钛金属通常被加热到高温并与基片表面反应，形成钛化物，使其在基片表面形成导电区域，从而形成光波