喷涂工艺对氮化硅涂层品质的影响

喷涂工艺对氮化硅涂层品质的影响摘 要铸造多晶硅生产流程中的第一道工序就是坩埚涂层的喷涂。工业中通常使用的坩埚是石英或石墨坩埚，熔融硅与坩埚接触时不可避免的产生反应粘连，同时坩埚中的杂质也会进入硅熔体中