等离子体密封窗的数值模拟与实验研究

等离子体密封窗的数值模拟与实验研究近年来,等离子体密封窗的研究逐渐受到人们的关注。等离子体密封窗是指一种搭载在等离子反应实验装置上,用于封闭反应室和真空室之间,以支持真空度和保护操作人员免受等离子体放

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