化学气相沉积TiN薄膜工艺优化及其性能研究的任务书

化学气相沉积TiN薄膜工艺优化及其性能研究的任务书任务书：1. 任务背景及目的化学气相沉积TiN薄膜工艺是一种非常重要的制备工艺，可以在各种贵金属、半导体和陶瓷材料上制备出薄膜。为了进一步提高薄膜质量