微机电系统功能材料微机械制造技术

- MEMS 常用材料 - 半导体材料：硅及其化合物等。 电致伸缩材料：压电陶瓷、氧化锌、石英等。磁致伸缩材料：镍铁合金等。形状记忆材料：镍钛合金等。其它：