基于Su-8光刻胶的微透镜及阵列的研究的中期报告

基于Su-8光刻胶的微透镜及阵列的研究的中期报告一、研究背景微透镜是一种关键的功能元件，可用于光学成像、红外成像、光通信、光电传感等领域。微透镜阵列作为其中一种微透镜结构，在大规模集成光学领域中具有重