离子注入机均匀性的改进设计.pfg

摘 要随着半导体集成电路技术蓬勃发展，现今半导体业升级速度很快。国内投资商由于资金相对短缺，大都靠进口的二手设备或国产设备来满足生产和工艺要求。国产很多设备在稳定性和重要参数方面都无法满足不断增长的工