CMP后清洗技术发展历程

CMP后清洗技术发展历程周 国安 ， 徐 存 良(中国电子科技集 团公 司第 四十五研 究所 ， 北 京 1 01 601 )摘 要 ：从 8 0年代 开始 ， 结合 当时 最 具代 表 性 的 CM