会切场约束ICP增强非平衡磁控溅射放电及应用研究

大连理工大学博士学位论文会切场约束ICP增强非平衡磁控溅射放电及应用研究姓名：齐雪莲申请学位级别：博士专业：等离子体物理指导教师：马腾才;任春生20080401大连理工大学博士学位论文 摘 要 本文的