全息干涉计量的应用研究——微小转角的测量的中期报告

全息干涉计量的应用研究——微小转角的测量的中期报告中期报告一、研究背景和目的光学干涉计量技术包括全息干涉计量、相位测量、多波长测量、白光干涉等，是一种无接触、非侵入性测量方法，适用于微小长度、表面形貌