低气压射频感性耦合CF4和CHF3放电的流体模拟研究的任务书

低气压射频感性耦合CF4和CHF3放电的流体模拟研究的任务书一、背景低气压放电是一种广泛应用于微电子、光电子和材料工程等领域的非热等离子体处理技术。该技术的优点包括处理速度快，处理精度高，处理质量稳定