多晶硅薄膜晶体管的衬底端表征方法研究的开题报告

多晶硅薄膜晶体管的衬底端表征方法研究的开题报告一、背景介绍多晶硅薄膜晶体管是一种目前广泛应用于显示器、平板电脑和智能手机等电子设备中的关键元件。它的主要制备方法是在玻璃或聚合物基底上沉积多晶硅薄膜，在