三阴极级联弧源下氦等离子体的特性研究

三阴极级联弧源下氦等离子体的特性研究三阴极级联弧源下氦等离子体的特性研究摘要：本文以三阴极级联弧源作为氦等离子体发生器，研究了其在不同条件下的特性。通过实验和分析，发现三阴极级联弧源能够产生高温、高密