CMOS集成电路制造工艺

第四章CMOS集成电路制造工艺信息学院电子系李国刚本章内容™ 主要的单项工艺™ N阱CMOS制造流程™ 双阱CMOS制造流程™ 新工艺改进™ 设计规则一、主要的单项工艺™ N阱CMOS单晶硅生长示意图