硅基级联多模光波导偏振分束器

硅基级联多模光波导偏振分束器摘要本文研究硅基级联多模光波导偏振分束器的设计、制备技术及其性能。首先，阐述硅基光子器件与光通讯的发展现状及应用前景。随后，详细介绍了硅基级联多模光波导偏振分束器的结构、工