API激光干涉仪

API激光干涉仪 5D 6D激光干涉仪仪器描述仪器说明 仪器标签5D/6D激光干涉仪是API的专利产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情