铸造多晶硅中的金属杂质及其对硅片性能的影响aaa

铸造多晶硅中的金属杂质及其对硅片性能的影响aaa铸造多晶硅中的金属杂质及其对硅片性能的影响摘要：关键词：多晶硅 铸造多晶硅 金属杂质 正文：金属杂质特别是过渡金属杂质，在原生铸锭中的浓度般都低于1×1