国内外光刻胶现状及发展趋势

特种化工材料技术研讨会论文集 出第一批环化橡胶——双叠氮系光刻胶，使集成电 早的产品。主要为环化橡胶——双叠氮系列，也有 rL't I 翌堡竺!垄 中烘 ￡) 显影 图1光刻的8个步骤 次光刻的对象不