氟硅酸钠热解制备四氟化硅气体影响因素研究

氟硅酸钠热解制备四氟化硅气体影响因素研究氟硅酸钠是一种重要的无机化合物，可用于制备四氟化硅气体。在该过程中，有多个影响因素需要考虑，包括反应温度、反应时间、氟硅酸钠和硅酸钠的配比、氟硅酸钠热解的粒度等