24对棒多晶硅还原炉模拟及热应力分析的中期报告

24对棒多晶硅还原炉模拟及热应力分析的中期报告报告摘要：本报告介绍了24对棒多晶硅还原炉模拟及热应力分析的中期结果。利用有限元分析方法进行了炉体结构的模型建立和热应力分析计算，同时结合实验数据进行验证