基于金属氧化物半导体的微纳传感器制备及其性能研究的开题报告

基于金属氧化物半导体的微纳传感器制备及其性能研究的开题报告一、选题背景及研究意义随着现代工业的快速发展和社会的进步，传感技术正在得到广泛应用。微纳传感器由于其具有小型化、高精度、高可靠性、低成本等优点