三氯氢硅理化性质和质量指标

三氯氢硅理化性质与质量指标1.1 三氯氢硅的基本概况三氯氢硅，别名：三氯硅烷，硅氯仿；英文名称：Trichlorosilane或silicochloroform；分 子 式：SiHCl3；分 子 量