非晶态Ga2O3薄膜及其日盲紫外探测器的制备和特性研究

非晶态Ga2O3薄膜及其日盲紫外探测器的制备和特性研究非晶态Ga2O3薄膜及其紫外探测器的制备和特性研究摘要：本论文主要研究非晶态Ga2O3薄膜的制备方法以及非晶态Ga2O3薄膜材料在紫外探测器中的应