金属诱导晶化制备高质量的多晶Ge薄膜的开题报告
金属诱导晶化制备高质量的多晶Ge薄膜的开题报告摘要:本文研究采用金属诱导晶化(MILC)方法制备高质量的多晶Ge薄膜。MILC是一种利用金属作为催化剂,通过快速退火使非晶态材料晶化的方法。实验中我们采