原子层沉积对膜材料改性的研究进展

原子层沉积对膜材料改性的研究进展原子层沉积（Atomic Layer Deposition，ALD）是一种将物质以原子层的方式沉积在基底表面的薄膜制备技术。由于其在薄膜厚度控制、复杂结构制备和均匀性方