单晶硅直拉法降氧实验进展报告

降氧实验进展报告汇报人：王思锋一、实验目的：降低单晶硅晶棒头部氧含量。二、降氧原理：在CZ 法生长中 , 氧不可避免地掺入硅单晶。其途径是氧从石英 (SiO2) 坩埚溶解进入硅熔体 , 溶解的氧经由熔