梳齿式二维微纳力力矩传感器的物理设计的开题报告

梳齿式二维微纳力力矩传感器的物理设计的开题报告梳齿式二维微纳力力矩传感器是一种微纳尺度下应用的传感器，其在机械力学、物理学、材料学等领域有着广泛的应用。本文将对梳齿式二维微纳力力矩传感器的物理设计进行