基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告

基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究的中期报告摘要：本文介绍了基于超磁致伸缩高精度高频微小泵的研究进展，包括设计原理、制备工艺以及实验测试结果分析等方面。本研究使用直径为10微米的镍铁合金薄膜作为压电