薄膜物理CH溅射镀膜公开课一等奖优质课大赛微课获奖课件

- Ch.3 溅射镀膜技术 - 溅射镀膜是利用气体放电产生正离子在电场作用下高速轰击阴极靶，使靶材中原子（或分子）逸出而淀积到被镀衬底（或工件）表面，形成所需要薄膜。