高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究

高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究高精度间隙补偿式闭式气浮导轨性能的分析研究摘要随着机械制造和自动化技术的发展，对于高精度、高速运动精度要求的机械装置的需求逐渐增加。而闭式气浮导轨作为一种常用