MEMS硅谐振式压力传感器设计的开题报告

MEMS硅谐振式压力传感器设计的开题报告一、选题背景随着智能化、自动化程度的不断提高，对于强大的传感器技术的需求也得到了不断地增加。传感器技术的发展日趋成熟，越来越多的应用领域能够得到满足。MEMS硅