射频离子源等离子体激励特性研究的任务书

射频离子源等离子体激励特性研究的任务书任务书研究题目：射频离子源等离子体激励特性研究一、研究背景射频离子源是现代离子束技术中的一个重要组成部分。它可用于制备金属、合金、非晶体材料、薄膜等。然而，射频离