塔顶全凝器在多晶硅尾气回收技术中的应用

塔顶全凝器在多晶硅尾气回收技术中的应用塔顶全凝器在多晶硅尾气回收技术中的应用摘要:多晶硅制备过程中产生的尾气中含有大量的有机物和硅氮化合物,对环境造成严重的影响。针对多晶硅尾气回收的难题,塔顶全凝器技

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