扫描电子显微镜技术参数

扫描电子显微镜技术参数一、扫描电子显微镜性能指标描述（带“*”必须满足）*（1）分辨率：高真空模式　3.0 nm (30 kV)　8.0nm(3.0 kV) 15.0 nm (1.0 kV)（2）放

扫描电子显微镜技术参数 “*” 一、扫描电子显微镜性能指标描述（带必须满足） *13.0nm(30kV)8.0nm(3.0kV)15.0nm(1.0kV) （）分辨率：高真空模式 25X~300,000X （）放大倍率：或以上 30.3kV~30kV （）加速电压： *4200mm80mm(WD10mm) （）最大样品尺寸：直径，高度 *5X=100mmY=100mmZ=60mmT=-10°90°R=360° （）样品台：行程及以上；及以上；及以上；～；， XYZRT 优中心五轴，五轴马达自动（，，，，） 二、电子光学系统 1/ （）电子枪灯丝：工厂预对中发卡式钨灯丝 2 （）探测器：二次电子探测器（标配），被散射探测器（可选） 3ChargeFree （）具有不导电样品扫描模式。 三、能谱仪（制造厂家最好与电镜厂家相同） 1 （）具有一体化能谱仪设计 2 210mm （）有效探测面积：不小于 3 （）采用电制冷技术，无需液氮 四、真空系统 1 （）采用二级真空系统：机械泵、涡轮分子泵，均必须原装进口 2 （）真空控制：全自动 五、显示系统 123 （）英寸以上液晶显示触摸屏 2640×480;1280×960;2560×1920;5120×3840 （）存储精度像素 3 （）配套软件系统：需要具有图象处理、数据显示、标注、测量功能（线扫描、点扫描、面扫描）， 3D 测量（优选） 1 数量：台