氧化锌薄膜晶体管的反应溅射制备和特性研究的开题报告

氧化锌薄膜晶体管的反应溅射制备和特性研究的开题报告一、研究背景和意义氧化锌具有宽带隙、良好的光电性能和可见光透过性等优异特性，在无线传感器、光电传感等领域具有广泛的应用。而作为氧化锌薄膜晶体管的重要材