双槽电化学腐蚀制备多孔硅及其发光性能研究

双槽电化学腐蚀制备多孔硅及其发光性能研究摘要：本研究通过双槽电化学腐蚀技术制备出了一种多孔硅材料，并探究了其发光性能。研究结果表明，所制备的多孔硅材料具有良好的光致发光性能，能在不同激发波长下发出强烈