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《基本光刻工艺》PPT课件

- 第八章 基本光刻工艺流程 - 光刻的目的和意义第四章已做过简单的描述,这一章主要介绍基本光刻工艺中的表面准备至曝光的工艺步骤及光刻胶的特性。8.1 简介

《光刻工艺A》PPT课件

- 第 七 章光 刻 工 艺 - - - 前面工艺的遗留问题 - a. 如何在一片硅片上定

光刻与刻蚀工艺[PPT课件]

- 微电子工艺学 Microelectronic Processing 第六章 光刻与刻蚀工艺 - 张道礼 教授Email: zhang-daoli@163.comVoic

第七章光刻工艺A PPT课件

- 第 七 章光 刻 工 艺 - - - 前面工艺的遗留问题 - a. 如何在一片硅片上定

《集成电路光刻工艺》课件

- 《集成电路光刻工艺》ppt课件 - 目录 - 光刻工艺简介光刻工艺流程光刻工艺材料光刻工艺设备光刻工艺技术发展与展望

第8章光刻与刻蚀工艺ppt课件

- 光刻与刻蚀的定义 - 光刻工艺的重要性:IC设计流程图,光刻图案用来定义IC中各种不同的区域,如:离子注入区、接触窗、有源区、栅极、压焊点、引线孔等主流微电子制造过程中,光刻

《集成电路光刻工艺》PPT课件

- * - 第六章 光刻工艺 - §1 基本概念 - * - 一、光刻的定义:光刻是一种图

《光刻清洗工艺简介》PPT课件

- 大 纲 - 光刻工艺介绍一、光刻概述二、工艺流程三、主要工艺设备介绍四、其他清洗工艺介绍一、清洗概述二、常用湿法清洗(腐蚀)方法三、清洗机及超声清洗四、等离子清洗机五、常用

《光刻清洗工艺简介》PPT课件

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光刻工艺流程 PPT课件

- 目录 - 光刻胶的定义及其作用光刻胶的成分光刻胶的主要技术参数光刻胶的分类光刻胶的主要应用领域光刻工艺流程 - 定义: 光刻胶(Ph

《光刻工艺B》PPT课件

- 光刻工艺 - - 参考资料:《微电子制造科学原理与工程技术》第7、8章(电子讲稿中出现的图号是该书中的图号) -

《光刻工艺概述》PPT课件

-  * - * - 第8章 光刻工艺概述8.1 光刻技术的发展8.2 光刻工艺流程8.3 光刻技术