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电子束光刻邻近效应校正技术研究-计算机科学与技术专业毕业论文
致谢致谢研究生阶段的学习和生活是非常有意义的,在这段充实而又紧张的学习过程中, 我获得了更多的新技术和新理论的学习,得到了许多人对我学习任务的完成和实践工作 的开展所提供的无私帮助。首先要感谢我的导师
光学光刻技术的发展历程及趋势.pdf
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硅表面直接生长十八烷基硅烷小分子自组装单层抗蚀剂的亚稳态氦原子光刻技术
电子显微学报第29卷第2期2010年4月Vol-29,No. 22010-04Journal of Chinese Electron Microscopy Society文章编号:1000~6281