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光刻胶综述

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第3篇第八章光刻胶

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含氟紫外纳米压印光刻胶的研制_赵彬

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基于SU--8光刻胶的微透镜及其阵列分析

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国产光刻胶，破晓而生，踏浪前行

光刻胶：图形转移介质，在泛半导体产业广泛应用光刻胶本质是一种感光材料，也称光致抗蚀剂，主要用于微电子技术中微细图形加工。在紫外光、电子束、离子束、X 射线等照射或辐射下，光刻胶溶解度会发生变化，再经