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半导体工艺实习报告
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半导体器件-半导体工艺介绍光刻
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半导体器件-半导体工艺介绍-薄膜淀积
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半导体工艺流程
1、清洗集成电路芯片生产的清洗包括硅片的清洗和工器具的清洗。由于半导体生产污染要求非常严格,清洗工艺需要消耗大量的高纯水;且为进行特殊过滤和纯化广泛使用化学试剂和有机溶剂。在硅片的加工工艺中,硅片先按